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v FOWLP晶圓翹曲控制和監(jiān)測
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v 裝載和卸載:手動/全自動
v 翹曲處理能力:輸入翹曲:10 mm 矯正后的翹曲:<1 mm
v 晶圓傳輸系統(tǒng):三溫無接觸傳輸
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